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成分分析,配方還原,食品檢測,藥品檢測,化妝品檢測,環境檢測,性能檢測,耐熱性檢測,安全性能檢測,水質檢測,氣體檢測,工業問題診斷,未知成分分析,塑料檢測,橡膠檢測,金屬元素檢測,礦石檢測,有毒有害檢測,土壤檢測,msds報告編寫等。

氦質譜檢漏法檢測

發布時間:2025-05-13

關鍵詞:氦質譜檢漏法檢測標準,氦質譜檢漏法檢測機構,氦質譜檢漏法項檢測報價

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來源:北京中科光析科學技術研究所

文章簡介:

氦質譜檢漏法是一種基于質譜分析技術的高靈敏度泄漏檢測方法,廣泛應用于真空系統、密封容器及精密器件的微漏定位與定量分析。該方法通過引入氦氣作為示蹤介質,結合質譜儀對泄漏點進行精準識別,具備檢測限低(可達10?12Pa·m3/s)、重復性好的特點。核心要點包括儀器校準、測試環境控制及泄漏率計算規范。
點擊咨詢

因業務調整,部分個人測試暫不接受委托,望見諒。

檢測項目

真空系統密封性驗證:針對高真空設備(如鍍膜機、粒子加速器)進行整體密封性能評估

壓力容器泄漏定位:適用于儲氣罐、反應釜等承壓設備的微小泄漏點精確定位

電子元件封裝測試:對集成電路、MEMS器件等微型封裝結構進行氣密性分級檢測

管道焊縫完整性檢驗:用于核電站冷卻系統、化工管道的焊縫泄漏率定量分析

航天器艙體檢漏:滿足空間站模塊、衛星推進系統等航天裝備的極端密封要求

檢測范圍

工業領域:涵蓋能源裝備(LNG儲罐)、汽車制造(燃料電池堆)、半導體(真空腔體)等

材料類型:金屬焊接件(不銹鋼/鋁合金)、彈性體密封圈(氟橡膠/硅膠)、陶瓷封裝體等

泄漏率等級:

粗漏檢測:1×10?? ~ 1×10?3 Pa·m3/s

微漏檢測:1×10?? ~ 1×10?? Pa·m3/s

超微漏檢測:≤1×10?12 Pa·m3/s

環境條件:適應溫度-50℃~200℃、壓力10?? Pa~10 MPa的極端工況測試

檢測方法

真空噴吹法:

將被測件接入真空系統并抽至基礎壓力≤5×10?3 Pa

使用氦氣噴槍沿疑似泄漏路徑移動噴射

質譜儀實時監測氦分壓變化并生成泄漏率曲線

累積測試法:

在密閉測試腔內充入0.1~0.5 MPa氦氣混合氣體

保持恒溫條件進行12~24小時氣體滲透累積

通過質譜儀測量累積氦濃度推算泄漏速率

真空罩法:

將被測件置于透明真空罩內抽至工作真空度

根據質譜信號變化速率計算總泄漏量

背壓測試法:

將被測件浸入高壓氦氣環境(1~5 MPa)保持4~8小時

取出后快速轉移至真空室進行殘余氦釋放量測量

適用于微型封裝器件的無損批量檢測

檢測儀器

四極桿質譜儀:

質量數范圍:1~100 amu(氦特征峰為4 amu)

最小可檢分壓:≤5×10?13 Pa

響應時間:<0.5 s(90%信號上升)

分子泵機組:

極限真空:≤5×10?? Pa(無負載)

抽速范圍:100~2000 L/s(根據腔體容積匹配)

配備渦輪分子泵與干式前級泵組合系統

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檢測流程

1、咨詢:提品資料(說明書、規格書等)

2、確認檢測用途及項目要求

3、填寫檢測申請表(含公司信息及產品必要信息)

4、按要求寄送樣品(部分可上門取樣/檢測)

5、收到樣品,安排費用后進行樣品檢測

6、檢測出相關數據,編寫報告草件,確認信息是否無誤

7、確認完畢后出具報告正式件

8、寄送報告原件

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